中空のロータリーテーブルユニットのコンポーネントは何ですか?それはどのようにその高精度を実現しますか?

Jun 16, 2025 伝言を残す

中空の回転テーブルは、産業自動化、ロボットジョイント、精密測定、半導体機器の中空構造設計、優れた負荷容量、スムーズな電力伝達、最大15アーク秒(最大10アーク秒までのカスタマイズされたモデル)の標準精度により、コアロータリーモーションユニットになりました。

 

1。中空ロータリープラットフォームのコアコンポーネント

(1)精密スピンドル:

プラットフォームのコアサポートおよび負荷トランスファーハブとして、スピンドルは通常、積分鍛造または精密鋳造によって高-強度合金鋼(SCM440)で作られており、厳密な浸炭と消光およびその他の熱処理プロセスを受けて、HRCの高い表面硬度を保証します。精密な地面になり、丸さエラーは5ミクロン(μm)またはさらにはさらに制御されます(例:<2μm) to provide a stable foundation of high rigidity and low deformation, which is directly related to the platform's loading capacity and long-term accuracy retention.

2)高い剛性交差ローラーベアリング:

これは、プラットフォームの高精度(15/10 ARC SEC)と高い剛性を実現するコアです。ユニークなデザインは、ローラーが90度のレースウェイに配置されていることです。 P4またはP2グレードのウルトラ-高精度のベアリングが選択され、内側のリングの放射状のランアウトは5μm以内で制御できます。

3)精密縮小ギア:

惑星ギア構造または精密なワームギアは通常、15アークの2番目のアーク秒の精密ターゲットを達成するために電力伝達を実現するために使用されます。ギアは、ISO 6以上の製造精度レベルに達する必要があります。精密粉砕プロセスは、アセンブリプロセスで、厳密なバックラッシュ制御(通常はマイクロ{-プリロードまたはゼロバックラッシュを実現するために)および正確なメッシュセンター距離調整を実現するための鍵です。

 

4)モーターと高-解像度エンコーダーを駆動:

ドライブモーター:主に高レスポンシブサーボモーター(ACまたはDC)を使用します。選択は、プラットフォームの負荷慣性、必要な最大トルク、最大速度、特にその制御精度(解像度)をプラットフォームの位置付け精度目標(15/10 ARC SEC)と一致させる必要があります。

 

5)高解像度エンコーダー:

This is the "eyes" of the closed loop control system.To support a positioning accuracy of 15/10 arc sec and excellent repeatability of typically ±5 arc sec, the integrated high-precision rotary encoder (absolute or incremental) must have extremely high resolution (≥20 bits per revolution, i.e. >1,048,576カウント/Rev)。同時に、信号は非常に安定して干渉に耐性がある必要があり(例:SIN/COS 1VPPシグナルなど)、温度補償が含まれて、複合動作条件下でのフィードバックデータの長い{7}}用語の信頼性を確保し、誤差の蓄積を回避するためです。

hollow rotary table

2。機械的回転プラットフォームの高精度を実現するにはどうすればよいですか?

15 ARC秒の標準精度、または10 ARC 2番目のカスタマイズされた精度の標準精度を安定して維持するために、体系的な最適化の設計、製造、組み立て、および制御を実行する必要があります。

 

ultra -コアコンポーネントの精度製造:高い円形(<5μm, <2μm for key parts) and high hardness (HRC 58-62) processing of the spindle is the basic guarantee.Gear is the core of transmission accuracy, through precision grinding process to achieve ISO 6 or higher precision (Fp ≤ 8μm, fα ≤ 2μm).Crossed roller bearings are selected from P4/P2 grade ultra-high precision products and precision assembled to ensure that their own errors are minimized and their high rigidity (300 N/μm) is brought into full play.

 

high -解像度センシングとフィードバック:20ビット以上の単一-ターン解像度(1,048,576 CPR)を備えた統合エンコーダは、ターゲットよりもはるかに高い角度分解能を備えた微細なフィードバック信号を提供します(15 ARC SEC≈0.00417度、10 ARCSEC≈0.00278)。

 

Advanced Closed -ループ制御戦略:高-パフォーマンスサーボ制御システムを構築します{-} high {-解像度エンコーダーからの実際の-時間フィードバック。フィード-の先進的なアルゴリズムの適用-の先進アルゴリズム、トラップフィルター、トラップフィルター(メカニカル共鳴を抑制する)、摩擦補償、摩擦制御など、compince condingなどの侵入などの侵入など。構造的振動、および軌跡追跡の精度と位置決めの安定性を大幅に向上させます。特定の負荷のセーターパラメーターチューニング(ゲイン、帯域幅)は不可欠です。

 

構造的剛性と熱安定性の設計:プラットフォームボディは、剛性-最適化された構造(補強材など)および非常に硬い材料を採用します。主要な熱源(モーター、ベアリングなど)の熱変形シミュレーションと最適化、および熱膨張材料の使用を最小限に抑えるために、熱膨張材料を最小限に抑えるために、熱膨張材料を最小限に抑えるために、熱散逸設計(熱流し、エアダクト)または低係数の使用を採用しています。長い間継続的な操作。